In consequence of hydrogen formation during silane pyrolysis total gas volume increases, when the reaction proceeds at constant total pressure. Any mole of silane decomposed produces two moles of hydrogen. In the present paper expressions are derived for 1' ' and 0.5Ih reaction order describing axial growth rate distribution of the isothermally proceeding reaction for the condition of constant total pressure. Those theoretically expected distributions are compared with results obtained by way of experiment on the one hand and those theoretically expected for the condition of constant gas volume on the other. It is concluded that the experimental results discussed rather agree with constant gas volume than with constant total pressure conditions. So, a compensating increase of total pressure along the tube axis might be supposed.
Wahrend des thermischen Zerfalls von Silan entsteht Wasserstoff, der unter konstantem Druck zu einer VolumenvergroBerung fuhrt. Ein Mol Silan bildet bei seinem Zerfall zwei Mole Wasserstoff. In der vorliegenden Arbeit werden Gleichungen entwickelt, welche die axiale Verteilung der Schichtwachstumsrate fur den Fall der isothermen Reaktionsfiihrung be] konstantem Totaldruck sowohl fur die erste als auch die 0,5-te Reaktionsordnung beschreiben. Diese theoretischen Wachstumsratenverlaufe werden mit experimentell gewonnenen und auch mit solchen Verlaufen, die fur die Bedingung eines konstant gehaltenen Gasvolumens gelten, verglichen. Es zeigt sich, da0 die hier diskutierten Experimentalergebnisse besser mit den fur konstantes Gasvolumen erwarteten als mit den fur konstanten Totaldruck gultigen ubereinstimmen. Der vorliegende Befund konnte durch die Annahme eines kompensierenden Totaldruckanstiegs Iangs der Rohrachse erklart werden.