The integrated reflection and halfwidth of silicon crystals with different dislocation densities have been measured on a double crystal spectrometer. A condition for detecting dislocations is that the effect of extinction be large compared to absorption. Using MoKcr, radiation, large differences in integrated reflection have been observed between a dislocation-free crystal and a crystal with a dislocation density of 2 x 104/cm2. However, less penetrating radiaton, such as CuKa,, in integrated reflection between the same two crystals.
does not show as large a difference For a given wavelength the differences in integrated reflection between crystals of different dislocation density are higher at the higher order reflections. The integrated reflections for the more perfect crystals as a function of order agree closely with the theoretical values calculated from Prins' formula.
ETUDE DE LA PERFECTION DU RESEAU DU SILICIUM A L'AIDE DE LA DIFFRACTION DES RAYONS X
Les auteurs ont procede Q une etude approfondie des raies de diffraction de cristaux de silicium possedant differentes densites de dislocations, en utilisant un spectrometre a deux cristaux. Une condition de detection des dislocations est que l'effet d'extinction soit grand vis-it-vis de l'effet d'absorption. En utilisant le rayonnement Ka, du molybdene, on peut observer de grandes differences de diffraction totale entre un cristal exempt de dislocations et un cristal presentant une densite de dislocations de 2 x 104/cm2. Un rayonnement moins pen&rant, comme le rayonnement Kcc, du cuivre, ne montre pas une telle difference entre les deux m&mes cristaux. Pour une longueur d'onde don&e, les differences observees entre des cristaux presentant differentes densites de dislocations sont d'autant plus fortes que l'on observe des raies de diffraction d'un ordre plus 61eve. Les diffractions integrees observees pour les cristaux les plus parfaits sont en bon accord avec les valeurs theoriques calm&es par la formule de Prins.
UNTERSUCHUNG DER FEHLERFREIHEIT VON SILIZIUM MIT RGNTGEN-STRAHLEN
In einem Doppelkristallspektrometer wurden Gesamt-reflexion und Halbwertsbreite von Siliziumkristallen mit verschiedenen Versetzungsdichten gemessen. Zum Nachweis von Versetzungen mu6 der Einflul3 der Extinktion grad gegen den der Absorption sein. MoKcr,-Strahlung zeigte zwischen einem versetzungsfreien Kristall und einem solchen mit einer Versetzungsdichte von 2 x 104/cm2 grol3e Untersohiede der Gesamtreflexion. Weniger durchdringende Strahlung, wie etwa CuKcr,, zeigt jedoch zwischen denselben beiden Kristallen keine so grol3en Unterschiede der Gesamtreflexion. Bei gegebener Wellenliinge sind die Unterschiede der Gesamtreflexion zwischen Kristallen verschiedener Versetzungsdichte bei Reflexionen hoherer Ordnung groDer. Ftir die fehlerfreieren Kristalle stimmt die Abhangigkeit der Gesamtreflexion von der Ordnung gut mit den theoretischen Werten nach der Formel von Prins iiberein.
2. THEORY OF DARWIN AND PRINS
The theory of the reflection of X-rays from a perfect crystal was originally worked out by Darwin(l).
Prin# and Miller(') have modified Darwin's theory to take into account absorption in the crystal. Considering absorption, the integrated reflection from a perfect crystal can be written as: *