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SPIE Proceedings [SPIE SPIE Photonics Europe - Brussels, Belgium (Monday 16 April 2012)] Optical Micro- and Nanometrology IV - Optical measurement of the layer thickness of transparent materials

✍ Scribed by Dierke, H.; Tutsch, R.; Gorecki, Christophe; Asundi, Anand K.; Osten, Wolfgang

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