Gettering in silicon-on-insulator wafers
✍
H. Savin; M. Yli-Koski; A. Haarahiltunen; V. Virkkala; H. Talvitie; M.I. Asghar;
📂
Article
📅
2009
🏛
Elsevier Science
🌐
English
⚖ 382 KB