Atomic Layer Deposition of LaF3 Thin Fil
✍
Tero Pilvi; Esa Puukilainen; Kai Arstila; Markku Leskelä; Mikko Ritala
📂
Article
📅
2008
🏛
John Wiley and Sons
🌐
English
⚖ 247 KB
👁 1 views