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Mikrotribologische und mikromechanische Eigenschaften dünner CNx- und DLC-Schichten

✍ Scribed by T. Staedler; K. I. Schiffmann

Publisher
John Wiley and Sons
Year
2000
Tongue
English
Weight
88 KB
Volume
31
Category
Article
ISSN
0933-5137

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## Abstract Dünne polykristalline Bi~1−__x__~Sb~__x__~‐Filme mit azimutaler Orientierung der Kristalle wurden durch die Flashtechnik und die Katodenzerstäubung abgeschieden. In Abhängigkeit von den Bildungsbedingungen wurde die Struktur dieser Filme analysiert. Die Strukturuntersuchungen wurden mit