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Mechanische und tribologische Eigenschaften von CNx-, SiCx- und SiNx-Schichten

✍ Scribed by H. Leiste; M. Stüber; S. Ulrich; H. Holleck


Publisher
John Wiley and Sons
Year
2000
Tongue
English
Weight
135 KB
Volume
31
Category
Article
ISSN
0933-5137

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