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Die Lösung von Halbleiterproblemen mit der Elektronenstrahlmikrosonde

✍ Scribed by Dr. T. Kormány; G. Nagy

Publisher
John Wiley and Sons
Year
1973
Tongue
English
Weight
589 KB
Volume
8
Category
Article
ISSN
0232-1300

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✦ Synopsis

Abstract

Es wird ein Überblick gegeben über die Anwendung der Elektronenstrahlmikrosonde zur chemischen Analyse von Halbleitermaterialien und Halbleiterbauelementen sowie zur Untersuchung von pn‐Übergängen. Die Untersuchungsergebnisse beziehen sich auf den Nachweis von Ausscheidungsvorgängen der Verunreinigungen und deren Auswirkung auf die elektrischen Parameter der Halbleiterbauelemente. Es wird gezeigt, daß die Anwendung der Induzierten‐Stromsignal‐Methode die Abbildung der pn‐Übergänge und den Nachweis verschiedener Fehlermechanismen ermöglicht.

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