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Die lösung von strahlführungsproblement mit einem hybriden analogrechner

✍ Scribed by K. Brand


Publisher
Elsevier Science
Year
1970
Weight
301 KB
Volume
84
Category
Article
ISSN
0029-554X

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## Abstract Es wird ein Überblick gegeben über die Anwendung der Elektronenstrahlmikrosonde zur chemischen Analyse von Halbleitermaterialien und Halbleiterbauelementen sowie zur Untersuchung von pn‐Übergängen. Die Untersuchungsergebnisse beziehen sich auf den Nachweis von Ausscheidungsvorgängen der