## Abstract Die Züchtung von 〈111〉 orientierten Si‐Einkristallen hoher struktureller Perfektion wird mit steigendem Kristalldurchmesser schwieriger. Deshalb ist für die Entwicklung geeigneter Züchtungsverfahren zur Herstellung versetzungsfreier Kristalle die Kenntnis über die Bildung von Versetzung
Über die Anwendung axialen Gleichstroms bei der Züchtung von Si-Einkristallen großer Durchmesser
✍ Scribed by Dr. A. Lebek; Dipl.-Phys. W. Geil; Dipl.-Phys. K. Schmugge
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1972
- Tongue
- English
- Weight
- 712 KB
- Volume
- 7
- Category
- Article
- ISSN
- 0232-1300
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✦ Synopsis
Die vorliegende Arbeit legt Ergebnisse dar, die bei der Zuchtung von Si-l3inkristrtllcti mit einem Durchmesser bis 43 mm nach der Methode des tiegelfreien Zonenziehcns unter Anwendung eines axialen Gleichstromes erzielt werden konnten. Der EinfluO der Jouleschen Wiirme und des Peltiereffektes auf die strukturellen Eigenschafteu des Kristalls sowie deren Bedeutung bei seiner Zuchtung wird analysiert. Aus dieser Analyse resultieren Untersuchungen zum EinfluB der Jouleschen Wiirme auf die Versetzungsbildung. Auf der Basis einer vorausgesetzten Wechselwirkung von Kri ~ stallgeometrie, -temperatur und dem radialen Temperaturgradienten werden Betrachtungen zur Bestimmung einer Funktion n = f(grad. T , T , r ) durchgefuhrt. Fur ausgewahlte Fllle ist eine Losung bestimmbar, die auf die Bedeutung des Temperaturgradienten hinweist. Die Beachtung dieses Resultates bei der Kristallzuchtung wird mit einem Beispiel belegt.
Results are reported on zone floated silicon single crystals with diameters up to 43 mm by using an axial direct current. The influence of the Jouleheat and t,hc Peltier -effect on the structural proporties of the crystals and t,heir importance for the growing process is analysed. From this analysis researches on the influence of the Jouleheat on the origin of dislocations resulted. On the basis of a supposed interaction between crystal, -geometry, temperature and radial temperature gradient the function n = f(grad. T , T, r ) ist discussed. For special cases a solution is definable which shows the importance of the temperatur gradient. For illustrating the results an example is given. npeACTaBJIeHHaJ3 pa6ol.a AaeT pe3yJITaTb1, KOTOPble ~M J I A nOJly'IeHHbl# npA BW-PaulkiBaHAe MOHOHpACTaJIJIa KPeMHAR C AAaMeTpOM 43 MM no MeTOAy 6e3~wrenb~oA 30HIIOfi IlJlaBKA, C lTpAMeHeHAeM OCeBOrO nOCTOHHHOr0 TOKB. BnHRHAe TenJla $I?UOyJIa A 3@#eKTa neJIbTe Ha CTpyHTypHble CBOfiCTBa U A X H e e 3HalleHAe BO BpeMH BblpaUABaHAe, aHaJICi3ApyIOTCH. M3 3T01'0 aHaJIA3a BbITeKaH)T ACCJIeAOBaHAe l i BJIARHAH) TelTJTa &?KOyJIa Ha 06pa30BaHAe &kiCJIOKaLtA#. nPA yCnOBAA B3aAMOne#cTBHe reoMeTpaR KpacTanna, -TeMnepaTypbl A oceeoro TeMnepaTypHoro rpa-Ruema ~~O B O A R T C H ~a 6 n m n e ~~e AJIR onpeaeneme I # Y H K U A ~~ n = f(grad. T , T , r ) . HJIR BbI6OpHbIX cnyqaeB ecTb O ~H O pememe onpenenma, KoToparr yKaamaeT Ha 3 ~a ~e ~~e TeMnepaTypHoro rpaaxema. P e s y n ~a ~b x ~T H X Ha6JIH)AeHAA IIPABOARTCH llpAMepOM.
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