Einige kritische Bemerkungen zu Untersuchungen über die Neubildung von Versetzungen bei tiegelfreier Züchtung von Si-Einkristallen von W. Schröder und E. Wolf

✍ Scribed by W. Geil; A. Lebek; K. Schmugge

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1974
• Tongue: English
• Weight: 247 KB
• Volume: 9
• Category: Article
• ISSN: 0232-1300
• DOI: 10.1002/crat.19740091214

✦ Synopsis

Akademie der Wissensclkaften der DDR -Zentrum Ai r wissenschaftlichen Ger Webau, Berlin Einige kritische Bemerhngen zu Untersuchungen tiber die Neubildung von Versetzungen bei tiegelfreier Ziichtung von Si-Einkristallen vonW. SCHRO DER -Ud E. WOLF In einer Arbeit vom Mfirz dieses Jahres machen SCHR6DER und WOLF Angaben iiber m6gliche Quellen der Versetzungsneubildung w m e n d der tiegelfreien Kristallztichtung. Dabei scNieRen die Autoren "heterogene Keime (Sic etc), Kristallumschl e und Zwilaus, Eine solche BeschrS[nkung bedeutet, daB nur reine Wiirmespannungen als AnlaR der Versetzungsneubildung zur Dishssion stehen. Bls Ursachen fiir das Auftreten von Wihmespannungen bei der tiegelfreien Kristallzfichtung betrachten sCHR6DER und WOLF 1. radiale Temperaturunterschiede 2. "thermische Schocks" (als Folge ungeniigender P r b i s i o n der Ztichtungsanlage) 3. ErwXrmung durch hohe Frequenzen in einer dUnnen OberflBchenschicht