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Zur Abscheidung einfacher und komplizierter Halbleiterwerkstoffe aus der Gasphase (I)

✍ Scribed by Dr.-Ing. E. Seidowski; Dr.-Ing. S.-O. Newiak

Publisher
John Wiley and Sons
Year
1976
Tongue
English
Weight
633 KB
Volume
11
Category
Article
ISSN
0232-1300

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✦ Synopsis

Abstract

In der vorliegenden Arbeit werden die Möglichkeiten der Anwendung der chemischen Thermodynamik zur quantitativen Beschreibung chemischer Gasphasenabscheidungsprozesse von Halbleitern diskutiert. Einen wesentlichen Teil nimmt die Darlegung der Stellung der Thermodynamik in der Gasphasenhalbleitermetallurgie ein. Es wird ein Modell beschrieben, welches die Optimierung der Abscheidungsprozesse einfacher und komplizierter Halbleiterwerkstoffe ermöglicht. Dieses Modell wird unter praktischen Gesichtspunkten ausführlich am Beispiel der Abscheidung von Aluminiumphosphid im System AlPJAr erläutert. Durch Vergleich der errechneten optimalen Abscheidebedingungen mit den experimentellen wird die Möglichkeit und Notwendigkeit von Prozeßoptimierungen hervorgehoben.

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