Die Temperaturabhängigkeit des Dotanteneinbaus bei der Abscheidung von Siliziumepitaxieschichten aus der Gasphase (I) Der Phosphoreinbau und die Natur des Segregationskoeffizienten

✍ Scribed by Dipl.-Chem. H. Kühne

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1978
• Tongue: English
• Weight: 432 KB
• Volume: 13
• Category: Article
• ISSN: 0232-1300
• DOI: 10.1002/crat.19780130809