✦ LIBER ✦
Zur Abscheidung einfacher und komplizierter Halbleiterwerkstoffe aus der Gasphase (II). 5. Thermodynamische Analyse des Systems Al-P-J-Ar
✍ Scribed by Dr.-Ing. E. Seidowski; Dr.-Ing. S.-O. Newiak
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1976
- Tongue
- English
- Weight
- 578 KB
- Volume
- 11
- Category
- Article
- ISSN
- 0232-1300
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✦ Synopsis
Demonstration und weiteren Konkretisierung soll in diesem Kapitel ausfuhrlicher das oben beschriebene Model1 dargestellt werden. Als Objekt der Untersuchungen sol1 das AlP dienen. Wie bekannt ist, gehort das Aluminiumphosphid (All?) zu den am wenigsten untersuchten 111-V-Verbindungshalbleitern. Das ist in erster Linie durch betrachtliche Schwierigkeiten bei der Herstellung qualitativ guter Kristalle bedingt. So betrlgt z. B. die Schmelztemperatur des A1P 2530 "C (KISCHIO) und der Gleichgewichtsdampfdruck des Phosphors im Schmelzpunkt etwa 60 atm (NEWIAK). Hinzu koinmt, daS Alumi-