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Untersuchungen zum Einfluß der Plasmaparameter auf die Löslichkeit von Glimmpolymerschichten aus Hexamethyldisiloxan (HMDS)

✍ Scribed by M. Schmidt; M. Maass; W. Möller

Publisher
John Wiley and Sons
Year
1979
Tongue
English
Weight
581 KB
Volume
19
Category
Article
ISSN
0005-8025

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✦ Synopsis

Durch Sondenmessungen an einer durchstromten Argon-HMDS-Glimmentladung bestimmte Werte fur den axialen Potentialgradienten, die Temperatur und die Dichte der Elektronen erlauben eine Diskussion von Ursachen der Loslichkeitaanderung der unter diesen Bedingungen abgeschiedenen Glimmpolymerschichten. Es wird ein Model1 vorgeschlagen, wonach das Absinken der Lijshchkeit auf eine Rlehrfachradikalbildung im Volumen zuruckgefiihrt wird. Betrochtungen zum Energienmsatz bei der Schichtbildung werden durchgefuhrt.

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