Soft-x-ray projection lithography experiments using Schwarzschild imaging optics

✍ Scribed by Tichenor, D. A. ;Kubiak, G. D. ;Malinowski, M. E. ;Stulen, R. H. ;Haney, S. J. ;Berger, K. W. ;Brown, L. A. ;Sweatt, W. C. ;Bjorkholm, J. E. ;Freeman, R. R. ;Himel, M. D. ;MacDowell, A. A. ;Tennant, D. M. ;Wood, O. R. ;Bokor, J. ;Jewell, T. E. ;Mansfield, W. M. ;Waskiewicz, W. K. ;White, D. L. ;Windt, D. L.

• Book ID: 115343126
• Publisher: The Optical Society
• Year: 1993
• Tongue: English
• Weight: 770 KB
• Volume: 32
• Category: Article
• ISSN: 1559-128X
• DOI: 10.1364/AO.32.007068