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Plasmapolymerisation in strömenden Argon/p-Xylol-Glimmentladungen. Teil I. Untersuchungen zur Elektronenkomponente

✍ Scribed by L. Welxelbaum; L. Roth; H. Wittrich

Publisher: John Wiley and Sons
Year: 1979
Tongue: English
Weight: 505 KB
Volume: 30
Category: Article
ISSN: 0323-7648
DOI: 10.1002/actp.1979.010301005

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✦ Synopsis

Abstract

In der positiven Säule eines strömenden Argon/p‐Xylol‐Mischplasmas, wie es zur Herstellung dünner organischer Glimmpolymerschichten Anwendung findet, wurden mit Mikrowellenmethoden die effektive Elektronen‐Neutral‐teilchen‐Stoßfrequenz, die Elektronendichte sowie die Elektronentemperatur bestimmt. Die veränderten Elektronenparameter im Mischplasma im Vergleich zur Argon‐Grundgasentladung geben, ohne einzelne Reaktionskanäle zu offenbaren, deutliche Hinweise auf die Chemie in der Gasphase derartiger Entladungen.

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## Abstract Mit gaschromatographischen Methoden wurde die Zusammensetzung des Neutralgases längs des Entladungsrohres unter stationären Bedingungen eines strömenden Gases gemessen. Es ergab sich ein System von Folge‐ und Parallelreaktionen. Der Abbau des p‐Xylols als integraler Prozeß wurde als Rea

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