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Plasmapolymerisation in strömenden Argon/p-Xylol-Glimmentladungen. Teil 2. Untersuchungen des Neutralgases

✍ Scribed by L. Roth; H. Wittrich; L. Weixelbaum; S. Kurby

Publisher: John Wiley and Sons
Year: 1979
Tongue: English
Weight: 397 KB
Volume: 30
Category: Article
ISSN: 0323-7648
DOI: 10.1002/actp.1979.010301101

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✦ Synopsis

Abstract

Mit gaschromatographischen Methoden wurde die Zusammensetzung des Neutralgases längs des Entladungsrohres unter stationären Bedingungen eines strömenden Gases gemessen. Es ergab sich ein System von Folge‐ und Parallelreaktionen. Der Abbau des p‐Xylols als integraler Prozeß wurde als Reaktion 1. Ordnung ermittelt mit einer Geschwindigkeit, die durch die Stoßprozesse in der Entladung bestimmt wird. Bei variierenden Entladungsbedingungen laufen die aromatischen und aliphatischen Reaktionsprodukte mehr oder weniger auseinander. Dadurch ist es möglich, die Eigenschaften der Schicht zu beeinflussen.

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## Abstract In der positiven Säule eines strömenden Argon/p‐Xylol‐Mischplasmas, wie es zur Herstellung dünner organischer Glimmpolymerschichten Anwendung findet, wurden mit Mikrowellenmethoden die effektive Elektronen‐Neutral‐teilchen‐Stoßfrequenz, die Elektronendichte sowie die Elektronentemperatu

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