## Abstract Mit gaschromatographischen Methoden wurde die Zusammensetzung des Neutralgases längs des Entladungsrohres unter stationären Bedingungen eines strömenden Gases gemessen. Es ergab sich ein System von Folge‐ und Parallelreaktionen. Der Abbau des p‐Xylols als integraler Prozeß wurde als Rea
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Plasmapolymerisation in strömenden Argon/p-Xylol-Glimmentladungen. Teil. 3. Untersuchungen des Schichtwachstums und der Schichteigenschaften
✍ Scribed by H. Wittrich; L. Weixelbaum; L. Roth
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1979
- Tongue
- English
- Weight
- 663 KB
- Volume
- 30
- Category
- Article
- ISSN
- 0323-7648
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## Abstract In der positiven Säule eines strömenden Argon/p‐Xylol‐Mischplasmas, wie es zur Herstellung dünner organischer Glimmpolymerschichten Anwendung findet, wurden mit Mikrowellenmethoden die effektive Elektronen‐Neutral‐teilchen‐Stoßfrequenz, die Elektronendichte sowie die Elektronentemperatu