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Für die Abscheidung von Phosphat als Magnesiumammoniumphosphat

✍ Scribed by H. Kurtenacker


Book ID
112300866
Publisher
Springer
Year
1954
Tongue
English
Weight
82 KB
Volume
143
Category
Article
ISSN
1618-2650

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## Abstract Die Abscheidung von Metallen und Legierungen in Mikrostrukturen erfordert meist eine Schichtdicke größer als 100 μm, die der Strukturhöhe entspricht. Für die Nutzung von Edelmetallen in Mikrosystemen ist die Abscheidung von spannungsarmen, rissfreien, porenfreien und duktilen Schichten