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Moderne Elektrolyte für die galvanische Abscheidung von Ruthenium

✍ Scribed by Dr. Michael Branik; Dr. Franz Kummer

Publisher
John Wiley and Sons
Year
1978
Tongue
German
Weight
666 KB
Volume
50
Category
Article
ISSN
0009-286X

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## Abstract Die Abscheidung von Metallen und Legierungen in Mikrostrukturen erfordert meist eine Schichtdicke größer als 100 μm, die der Strukturhöhe entspricht. Für die Nutzung von Edelmetallen in Mikrosystemen ist die Abscheidung von spannungsarmen, rissfreien, porenfreien und duktilen Schichten