Die Adsorption von Silizium auf Wolfram
โ Scribed by Hans Neumann
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1966
- Tongue
- English
- Weight
- 914 KB
- Volume
- 473
- Category
- Article
- ISSN
- 0003-3804
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## Abstract Es wird ein รberblick gegeben รผber die mรถglichen Untersuchungsverfahren zur Bestimmung der Eindringtiefe von Dotanden in Siliziumdioxidschichten auf Silizium. An Hand der Bestimmung der Eindringtiefe von Bor und Phosphor werden einige Verfahren ausfรผhrlicher erlรคutert. Die bei allen Ver