Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники
✍ Scribed by Данилин Борис Степанович
- Book ID
- 127402947
- Publisher
- Машиностроение
- Year
- 1987
- Tongue
- Russian
- Weight
- 985 KB
- Category
- Library
- City
- М.
No coin nor oath required. For personal study only.
✦ Synopsis
Аннотация издательства: В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.
✦ Subjects
Вакуумная техника
📜 SIMILAR VOLUMES
Рассмотрено применение электронных пучков в электронно-литографических установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных приборов. Описано устройство и принцип действия, приведены основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно-
В работе рассмотрена русская ментальность, ее влияние на политическую жизнь и экономическое процветание. Предпринята попытка объяснить происхождение и особенности национальной психологии, предсказать экономическое и политическое будущее страны... В первой книге рассматривается и описывается совреме
Хроническое снижение холинергическихфункций мозга при внутрижелудочковом введении нейро-токсина AF64A сопровождается увеличением латентного периода нахождения невидимой платформы при обучении крыс в водном тесте Морриса по сравнению с контрольными ложнооперирован-ными животными. Регистрация траектор
В пособии излагаются основы теории марковских случайных процессов, протекающих в дискретных системах с дискретным и непрерывным временем. Иллюстрируется их применение в качестве вероятностных моделей различных финансово-экономических ситуаций. Пособие содержит достаточное количество детально разобра
Книга дает научно обоснованное введение в цифровую технику, предоставляя в полной мере ее основы, вплоть до конструирования и программирования. Читатель получает знания, которые делают возможным понимание большинства цифровых технических схем. Особенно детально рассматривается синтез логических схем