𝔖 Bobbio Scriptorium
✦   LIBER   ✦

Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

✍ Scribed by Данилин Борис Степанович


Book ID
127402947
Publisher
Машиностроение
Year
1987
Tongue
Russian
Weight
985 KB
Category
Library
City
М.

No coin nor oath required. For personal study only.

✦ Synopsis


Аннотация издательства: В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.

✦ Subjects


Вакуумная техника


📜 SIMILAR VOLUMES


Вакуумные процессы и оборудование ионно-
✍ Виноградов М.И. 📂 Library 📅 1989 🏛 Машиностроение 🌐 Russian ⚖ 1 MB

Рассмотрено применение электронных пучков в электронно-литографических установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных приборов. Описано устройство и принцип действия, приведены основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно-

Порочный круг деспотизма: рассуждения о
📂 Standards 📅 2012 🌐 Russian ⚖ 1 MB

В работе рассмотрена русская ментальность, ее влияние на политическую жизнь и экономическое процветание. Предпринята попытка объяснить происхождение и особенности национальной психологии, предсказать экономическое и политическое будущее страны... В первой книге рассматривается и описывается совреме

Влияние эстрогенов на обучение крыс с хр
✍ Мухина Т.В., Лермонтова Н.Н., Ванькин Г.И. 📂 Library 📅 2003 🌐 Russian ⚖ 133 KB

Хроническое снижение холинергическихфункций мозга при внутрижелудочковом введении нейро-токсина AF64A сопровождается увеличением латентного периода нахождения невидимой платформы при обучении крыс в водном тесте Морриса по сравнению с контрольными ложнооперирован-ными животными. Регистрация траектор

Вероятностное моделирование в финансово-
✍ Лабскер Л.Г. 📂 Library 📅 2002 🏛 Альпина 🌐 Russian ⚖ 2 MB

В пособии излагаются основы теории марковских случайных процессов, протекающих в дискретных системах с дискретным и непрерывным временем. Иллюстрируется их применение в качестве вероятностных моделей различных финансово-экономических ситуаций. Пособие содержит достаточное количество детально разобра

Вводный курс цифровой электроники: учеб.
✍ К.Фрике 📂 Library 📅 2003 🏛 Техносфера 🌐 Russian ⚖ 8 MB

Книга дает научно обоснованное введение в цифровую технику, предоставляя в полной мере ее основы, вплоть до конструирования и программирования. Читатель получает знания, которые делают возможным понимание большинства цифровых технических схем. Особенно детально рассматривается синтез логических схем