Вакуумные процессы и оборудование ионно- и электронно-лучевой технологии
✍ Scribed by Виноградов М.И.
- Book ID
- 127450088
- Publisher
- Машиностроение
- Year
- 1989
- Tongue
- Russian
- Weight
- 1 MB
- Category
- Library
- City
- М
- ISBN-13
- 9785217007264
No coin nor oath required. For personal study only.
✦ Synopsis
Рассмотрено применение электронных пучков в электронно-литографических установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных приборов. Описано устройство и принцип действия, приведены основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно-лучевой обработки и его основные элементы. Рассмотрены технологические-процессы, в которых используются ионно-лучевые методы обработки: очистка, травление и полировка поверхности, нанесение пленок распылением материалов пучком ионов, осаждение пленок из ионных пучков.
✦ Subjects
Вакуумная техника
📜 SIMILAR VOLUMES
В пособии излагаются основы теории марковских случайных процессов, протекающих в дискретных системах с дискретным и непрерывным временем. Иллюстрируется их применение в качестве вероятностных моделей различных финансово-экономических ситуаций. Пособие содержит достаточное количество детально разобра
В работе рассмотрена русская ментальность, ее влияние на политическую жизнь и экономическое процветание. Предпринята попытка объяснить происхождение и особенности национальной психологии, предсказать экономическое и политическое будущее страны... В первой книге рассматривается и описывается совреме
Книга дает научно обоснованное введение в цифровую технику, предоставляя в полной мере ее основы, вплоть до конструирования и программирования. Читатель получает знания, которые делают возможным понимание большинства цифровых технических схем. Особенно детально рассматривается синтез логических схем