Über plasmachemische Reaktionen von Chlorwasserstoff

✍ Scribed by Dieter Meier; Heinz Dunken

• Publisher: Wiley (John Wiley & Sons)
• Year: 2010
• Weight: 277 KB
• Volume: 14
• Category: Article
• ISSN: 0044-2402
• DOI: 10.1002/zfch.19740141123

✦ Synopsis

I m Verlauf der Plasmaeinwirkung wird vom ausgeheizten PreBling Gas aufgenommen. Diese sogenannte Gasaufzehrung, die allgemein an plasmabegrenzenden Glasoberflachen beobachtet wird [9], [lo], fuhrt nach dem Zunden der Entladung im stationaren System zu einem merklichen Druckabfall im Plasmavolumen. Ihr uberlagert ist die Gasabgabe des PreBlings beispielsweise durch Freisetzen von 0,, so daB man in Ar-Entladungen beispielsweise effektiv einen Druckanstieg feststellt. Die aufgezehrten Gasmengen konnen nur teilweise mit einer reaktiven Wechseiwirkung des Gases bzw. seiner aktiven Spezies mit Defekten oder Endgruppen erklart werden. Es wird deshalb angenommen, daB die Gase auf Zwischengitterpliitzen oder auch auf Sauerstoffleerstellen eingelagert werden. Desorptionsuntersuchungen fuhrten bisher nur im Falle einer 0,-Plasmabehandlung zu einem klaren Ergebnis. Hier zeigte das Desorptogramm einen breiten 0,-Desorptionspeak zwischen 100 und 400 "C. Literatur [l] von Engel, A : Ionized Gases, Clarendon Press, Oxford 1965 [2] Fink, P.: private Mittcilung [31 Morterra, CZ., u.