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Zur plasmachemischen Umsetzung von GaAs mit CCl4 und CF2Cl2 in Gegenwart von Sauerstoff

✍ Scribed by U. Prösch; K. Buttke

Publisher: John Wiley and Sons
Year: 1984
Tongue: English
Weight: 603 KB
Volume: 24
Category: Article
ISSN: 0005-8025
DOI: 10.1002/ctpp.19840240611

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