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Zur Herabsetzung der Informationstiefe bei der quantitativen Bestimmung von Oxidschichten mit der energiedispersiven Elektronenstrahlmikroanalyse

✍ Scribed by Wiesner, Wolfgang

Publisher
Springer-Verlag
Year
1978
Weight
353 KB
Volume
70
Category
Article
ISSN
0344-838X

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## Abstract Verschiedene Methoden der Schrägbedampfung werden untersucht und hinsichtlich der „kompakten Höhe”︁ und der Rastergröße der Bedampfungsschicht charakterisiert. Als besonders geeignet erweist sich die direkte Verdampfung des Platins von einem Wolframdraht, wobei mit Hilfe eines bestimmte