Zur Bestimmung des Zerstäubungskoeffizienten bei der Ionenätzung
✍ Scribed by Dr. G. I. Mamaev; Dr. E. Seidowski; Doz. Dr. V. P. Ledovskoj
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1979
- Tongue
- English
- Weight
- 417 KB
- Volume
- 14
- Category
- Article
- ISSN
- 0232-1300
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