𝔖 Bobbio Scriptorium
✦   LIBER   ✦

Zerstörungsfreie Messung der Eindringtiefe bei der Silizium-Diffusion

✍ Scribed by H. Schewelies


Publisher
John Wiley and Sons
Year
1964
Tongue
English
Weight
147 KB
Volume
7
Category
Article
ISSN
0370-1972

No coin nor oath required. For personal study only.


📜 SIMILAR VOLUMES


Zerstörungsfreie Messung der Einzeldicke
✍ Dipl.-Ing. Albert Ott 📂 Article 📅 1975 🏛 John Wiley and Sons 🌐 English ⚖ 670 KB

## Abstract Die Arbeit beschreibt die theoretische, meßtechnische und gerätetechnische Seite eines Wirbelstromverfahrens zur zerstörungsfreien Schichtdickenmessung an Schichtsystemen. Es werden Beispiele für Auswertediagramme mit Meßbeispielen angegeben und quantitativ bewertet.

Ein Beitrag zur Bestimmung der Eindringt
✍ M. Frenzel 📂 Article 📅 1973 🏛 John Wiley and Sons 🌐 English ⚖ 494 KB 👁 1 views

## Abstract Es wird ein Überblick gegeben über die möglichen Untersuchungsverfahren zur Bestimmung der Eindringtiefe von Dotanden in Siliziumdioxidschichten auf Silizium. An Hand der Bestimmung der Eindringtiefe von Bor und Phosphor werden einige Verfahren ausführlicher erläutert. Die bei allen Ver