## Abstract Die Arbeit beschreibt die theoretische, meßtechnische und gerätetechnische Seite eines Wirbelstromverfahrens zur zerstörungsfreien Schichtdickenmessung an Schichtsystemen. Es werden Beispiele für Auswertediagramme mit Meßbeispielen angegeben und quantitativ bewertet.
✦ LIBER ✦
Zerstörungsfreie Messung der Eindringtiefe bei der Silizium-Diffusion
✍ Scribed by H. Schewelies
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1964
- Tongue
- English
- Weight
- 147 KB
- Volume
- 7
- Category
- Article
- ISSN
- 0370-1972
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