REINER ANDRAE, EHRENFRIED BUTTER Sektion Chemie der Karl-Mars-Universit&t Leipzig Thermodynamische Berechnung des Systems Ge/H,O/H, und experimentelle Untersuchung mit der Nahabstandsanordnung Fur die heterogene reversible Reaktion Ge(,) + H,O(g) + GeO(g) + H,(K) ergeben sich im Bereich von 950-1200 K Kp-Werte von 5 . die mittlere Reaktionsenthalpie betriigt 46,6 & 0 , B kcal/Mol. Die aus den Gle.jchgewichtskonstanten errechneten GeO-Partialdampfdrucke ergeben fur die Atzraten im geschlossenen System Werte? die 20-25% iiber den in der Nahabstandsenordnung fur (110)-Ge experimentell ermittelten liegen. Die Atzraten von (111)-, (100)-und (110)-orientiertem Germanium verhalten sich wie 1: 1,4: 1,8, die experimentell bestimmte mittlere Reaktionsenthalpie im Bereich von 1000-1200 O K betriigt 46 f 1 kcal/Mol. Die AbhLngigkeit der Transportrate vom Abstand 5 0 , 5 mm zwischen Quelle und Keim charakterisiert die Nahabstandsordnung als quasigeschlossenes System mit der Diffusion als geschwindigkeitsbestimmenden Schritt des Stoff transports. to 6,9.
for the heterogeneous reversible reaction Ge(,) + H,O(K) + GeO(,) + H,O(g), the average reaction enthalpy being 46,6 + 05 kcal/mol. Etching rates calculated with these equilibrium constants for closed systems are 20-25% larger than the experimental etching rates for (110)-Ge in the sandwich device. The ratio of the etching rates is for (111)-, (100)-and (110)-Ge 1:1,4:1,8; the average reaction enthalpy calculated experimentally is 46 1 kcal/mol for the temperature range 1000 -1200 K.
The dependence of transport rate on distance between source and substrate characterizes the sandwich device as a quasi-closed system with the diffusion as the rate controlling step of the material transport. bis 6,9 -I n the temperature range from 950 to 1200 K Kp-values result from 5 .