The columnar growth angle in obliquely evaporated Thin films

✍ Scribed by Dr. J. Krug

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1995
• Tongue: English
• Weight: 522 KB
• Volume: 26
• Category: Article
• ISSN: 0933-5137
• DOI: 10.1002/mawe.19950260107

✦ Synopsis

Vapor-deposited thin films grown under conditions of oblique incidence commonly develop a microstructure of columns, inclined at an angle 0 relative to the substrate norma1,which differs from thc angle of incidence a. Here it is shown that the functional relation P(a) is universally linked to the dependence of the film density e on the angle of incidence, through the equation tan 0 = tan a + e-'(de/du).The theory is supported by an analysis of published numerical data obtained from simulations of ballistic deposition of disks and spheres.

Die

Orientierung der Saulen in der Mikrostruktur schrag aufgedampfter dunner Schichten Schrag aufgedampfte diinne Schichten entwickeln gewohnlich eine Mikrostruktur aus Saulen, deren Wachstumswinkel relativ zur Substratnormalen, fl, nicht mit dem Einfallswinkel a ubereinstimmt. Hier wird gezeigt, dal3 dcr funktionale Zusammenhang P(a) durch die Gleichung tan fi = tan a + e-'(de//6a) in universeller Weise mit der Winkelabhangigkeit dcr Schichtdichte e verknupft ist. Ein Vcrglcich mil numerischen Daten aus Simulationen der ballistischen Abscheidung von Scheiben und Kugeln bestatigt die Theorie.