Chemical vapor deposition of refractory
✍
D. Petersohn
📂
Article
📅
1995
🏛
John Wiley and Sons
🌐
German
⚖ 173 KB
lagenforschung als auch der anwendungsorientierten Forschung beriicksichtigt. Die Ergebnisse experimenteller Untersuchungen sind dabei ebenso vertreten wie die Ergebnisse von computerunterstiitzten Modellrechnungen. Ergiinzt werden die Beitrlge durch eine Reihe von Invited Papers, welche eine Ubersi