Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics III. Materials Research Society, Symposium Proceedings, Volume 33, Hrsg. von B. M. Gallois, W. Y. Lee, M. A. Pickering, 283 Seiten, Materials Research Society, Pittsburgh 1995, $ 57.00 (MRS Member), $ 67.00 (US List), $ 72.00 (Foreign List), ISBN 1-55899-264-2

✍ Scribed by D. Petersohn

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1995
• Tongue: German
• Weight: 173 KB
• Volume: 46
• Category: Article
• ISSN: 0947-5117
• DOI: 10.1002/maco.19950461117

✦ Synopsis

lagenforschung als auch der anwendungsorientierten Forschung beriicksichtigt. Die Ergebnisse experimenteller Untersuchungen sind dabei ebenso vertreten wie die Ergebnisse von computerunterstiitzten Modellrechnungen. Ergiinzt werden die Beitrlge durch eine Reihe von Invited Papers, welche eine Ubersicht uber den aktuellen Stand der Kenntnis in den jeweiligen Sachgebieten geben.

Erganzt wird das Buch schlieRlich durch einen hilfreichen Sach-und Autorenindex.

-CB07895 -N. Wieling