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Stresses in Silicon after Boron Diffusion (I). Determination of Residual Stresses in Boron-diffused Silicon Slices Using Lang's Method

✍ Scribed by Prof. Dr. O. Brümmer; Dipl.-Phys. H. R. Höche

Publisher: John Wiley and Sons
Year: 1969
Tongue: English
Weight: 435 KB
Volume: 4
Category: Article
ISSN: 0232-1300
DOI: 10.1002/crat.19690040211

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