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Sputtering by Particle Bombardment I, Physics and Applications, Hrsg.: R. Behrisch, 281 Seiten, 97 Abbildungen, DM 85,-. Band 47 der Reihe, „Topics in Applied Physics”, gegr. von H. K. V. Lotsch, Springer Verlag, Berlin — Heidelberg — New York 1981

Publisher: John Wiley and Sons
Year: 1982
Weight: 138 KB
Volume: 13
Category: Article
ISSN: 0031-9252
DOI: 10.1002/piuz.19820130512

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