The analysis of a thin SiO2/Si3N4/SiO2 s
✍
B. Brijs; T. Sajavaara; S. Giangrandi; T. Janssens; T. Conard; K. Arstila; K. Na
📂
Article
📅
2006
🏛
Elsevier Science
🌐
English
⚖ 208 KB