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Röntgentopographie von gekrümmten Halbleiterscheiben

✍ Scribed by Dipl.-Min. K. Jegerlehner; Dr. U. Mohr

Publisher
John Wiley and Sons
Year
1972
Tongue
English
Weight
659 KB
Volume
7
Category
Article
ISSN
0232-1300

No coin nor oath required. For personal study only.

✦ Synopsis

Rontgentopographie von gekriimmten Halbleiterscheiben

I n der vorliegenden Arbeit wird ein uberblick uber rontgentopographische Methoden zur Untersuchung von Halbleitermaterialien gegeben. Speziell wird auf die SO-Technik eingegangen und die Apparatur einer Anwendungsvariante vorgestellt. An Hand von Beispielen werden Anwendungsmoglichkeiten der SO-Technik erlautert.

A survey is given of X-ray topographical methods for investigating semiconductor materials. Particulary scanning oscillator technique (SOT) is explained and a camera as practical example given. Application possibilities of SOT are explained.

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## Abstract Gekrümmte Stäbe zeigen bei Biegung eine nichtlineare Spannungsverteilung mit einer Spannungsspitze an der inneren Querschnittsseite. Die __Bernoulli__ ‐Hypothese bleibt gültig, während die technische Biegetheorie nach __Navier__ ihre Gültigkeit verliert. Beim hier zugrunde gelegten dünn