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Prozeßoptimierung bei der Salpetersäure-Herstellung

✍ Scribed by Dipl.-Ing. Uwe Bartsch; Prof. Dr. Karl Strauß; Dipl.-Ing. Erich Scheibler; Dr.-Ing. Michael Thiemann; Dr.-Ing. Karl Wilhelm Wiegand

Publisher
John Wiley and Sons
Year
1991
Tongue
German
Weight
159 KB
Volume
63
Category
Article
ISSN
0009-286X

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## Abstract Die Abscheidung von Titannitridschichten mit dem Puls‐PA‐CVD‐Verfahren wurde mit Hilfe der optischen Emissionsspektroskopie untersucht. Ti^+^ und N wurden als wachstumsbestimmende Spezies ermittelt. Ein Auftreten von TiN in der Gasphase bei höheren Plasmaleistungen verschlechtert die Sc