Plasmaäutzen düunner Schichten organischer Polymere. Teil II. Einflüusse der Prozeßparameter

✍ Scribed by L. Eggert; W. Abraham

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1989
• Tongue: English
• Weight: 637 KB
• Volume: 40
• Category: Article
• ISSN: 0323-7648
• DOI: 10.1002/actp.1989.010401204