Plasmaätzen dünner Schichten organischer Polymere. Teil IX: Temperaturabhängigkeiten der Ätzrate von Polymeren verschiedener Struktur

✍ Scribed by L. Eggert; J. Friedrich; E. Merker

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1991
• Tongue: English
• Weight: 502 KB
• Volume: 42
• Category: Article
• ISSN: 0323-7648
• DOI: 10.1002/actp.1991.010420613