Plasmaätzen dünner Schichten organischer Polymere. Teil III: Zum phänomenologischen Mechanismus des Schichtabtrags

✍ Scribed by L. Eggert; J. Friedrich; H. Wittrich; M. von Löwis; W. Abraham

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1990
• Tongue: English
• Weight: 675 KB
• Volume: 41
• Category: Article
• ISSN: 0323-7648
• DOI: 10.1002/actp.1990.010411104