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Physikalisch-chemische Vorgänge beim Plasmaätzen mit fluorhaltigen Ätzgasen

✍ Scribed by H. U. Poll; H. Schlemm

Publisher: John Wiley and Sons
Year: 1982
Tongue: English
Weight: 618 KB
Volume: 22
Category: Article
ISSN: 0005-8025
DOI: 10.1002/ctpp.19820220208

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