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Organisationskomitee: Prof. Dr. A. Kettrup, Dr. K.-W. Schramm, Prof. Dr.-Ing. K. G. Schmidt, Dipl.-Volksw. G. Schöppe, Dr. C. Kube-Schwickardi


Publisher
Springer
Year
1997
Tongue
German
Weight
120 KB
Volume
9
Category
Article
ISSN
0934-3504

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Abscheidung von Hartstoffschichten des T
✍ Prof. Dr.-Ing. habil. K.-T. Rie; Dr.-Ing. A. Gebauer; Dipl.-Phys. J. Wöhle; Prof 📂 Article 📅 1994 🏛 John Wiley and Sons 🌐 English ⚖ 415 KB

## Abstract In dieser Studie wurde die Abscheidung von (B,C,N)‐Schichten unter Verwendung der auf einem, neuen Syntheseweg dargestellten metallorganischen Verbindung C~8~H~18~BN im DC‐Puls‐PACVD‐Prozeß bei niedrigen Beschichtungstermperaturen (250°C) unter‐sucht. Es konnte gezeigt werden, daß doe H