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Abscheidung von Hartstoffschichten des Typs (B,C,N) bei niedrigen Beschichtungstemperaturen im PACVD-Prozeß
✍ Scribed by Prof. Dr.-Ing. habil. K.-T. Rie; Dr.-Ing. A. Gebauer; Dipl.-Phys. J. Wöhle; Prof. Dr. G. Erker; Dr. R. Mohr; Dr. C. Sarter
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1994
- Tongue
- English
- Weight
- 415 KB
- Volume
- 25
- Category
- Article
- ISSN
- 0933-5137
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✦ Synopsis
Abstract
In dieser Studie wurde die Abscheidung von (B,C,N)‐Schichten unter Verwendung der auf einem, neuen Syntheseweg dargestellten metallorganischen Verbindung C~8~H~18~BN im DC‐Puls‐PACVD‐Prozeß bei niedrigen Beschichtungstermperaturen (250°C) unter‐sucht. Es konnte gezeigt werden, daß doe Herstellung von (B,C,N)‐Schichten mit guter Härte und Haftfestigkeit im betrachteten Parameterraum möglich ist.