Optimierung industrieller Logistikprozesse mit Verfahren der
✍ Scribed by Thomas A. Runkler; Ralph Grothmann; Joachim Bamberger
- Book ID
- 107690054
- Publisher
- Springer-Verlag
- Year
- 2010
- Tongue
- English
- Weight
- 405 KB
- Volume
- 24
- Category
- Article
- ISSN
- 0933-1875
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Die Industrielle Mikrobiologie vereint das Fachwissen von Naturwissenschaftlern und Ingenieuren über die Nutzung von Bakterien und Pilzen. Als innovative Querschnittsdisziplin bietet sie wichtige Voraussetzungen für die Entwicklung konkurrenzfähiger Produkte auf der Basis umweltschonender Verfahren.
## Abstract Die Abscheidung von Titannitridschichten mit dem Puls‐PA‐CVD‐Verfahren wurde mit Hilfe der optischen Emissionsspektroskopie untersucht. Ti^+^ und N wurden als wachstumsbestimmende Spezies ermittelt. Ein Auftreten von TiN in der Gasphase bei höheren Plasmaleistungen verschlechtert die Sc