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Optimierung des spanplattenproduktionsprozesses mit hilfe der prozeßmodellierung

✍ Scribed by K. Kruse; H. Thömen; H. Maurer; A. Steffen; R. León-Méndez

Publisher
Springer-Verlag
Year
1997
Tongue
English
Weight
973 KB
Volume
55
Category
Article
ISSN
0018-3768

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✍ Prof. Dr.-Ing. K.-T. Rie; Dipl.-Ing. A. Gebauer; Dipl.-Phys. J. Wöhle 📂 Article 📅 1993 🏛 John Wiley and Sons 🌐 English ⚖ 538 KB

## Abstract Die Abscheidung von Titannitridschichten mit dem Puls‐PA‐CVD‐Verfahren wurde mit Hilfe der optischen Emissionsspektroskopie untersucht. Ti^+^ und N wurden als wachstumsbestimmende Spezies ermittelt. Ein Auftreten von TiN in der Gasphase bei höheren Plasmaleistungen verschlechtert die Sc