InS films with compositions close to that of the In 2 S 3 compound were prepared by an airless spray technique from spray solutions with composition ratio y In 3 aS 2Γ varying from 0.43 to 0.6. The structure of these films was characterized by electron diffraction and electron microscopy, and their optical properties were studied on the one hand by spectrophotometric measurements, on the other hand by spectroscopic ellipsometry. The influence of the increase of the y ratio on the optical properties as well as of annealing treatments up to 500 C is described and discussed in terms of crystallinity improvement.
Les couches minces d'InS de composition In 2 S 3 sont pre Γ pare Γ es par la technique de pulve Γ risation chimique re Γ active sans air spray avec un rapport de concentration en solution de spray y In 3 aS 2Γ variant de 0,43 a Γ 0,6. La structure cristalline de ces couches est analyse Γ e par diffraction de rayons X et par microscopie e Γ lectronique. Leurs proprie Γ te Γ s optiques sont e Γ tudie Γ es d'une part par des mesures de spectrophotome Γ trie, et d'autre part par des mesures d'ellipsome Γ trie spectroscopique. L'influence sur les proprie Γ te Γ s optique d'une augmentation de y et des traitements thermiques a Γ des tempe Γ ratures allant jusqu'a Γ 500 C est de Γ crite et discute Γ e en terme d'ame Γ lioration de la cristallinite Γ de ces mate Γ riaux.