Beiträge zum Ätzen von Galliumarsenid (I
✍
Dr. R. Voigt; Prof. Dr. H. Neels
📂
Article
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1972
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John Wiley and Sons
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English
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## Beitrage zurn &Zen von Galliumarsenid (11) Zur Hinetik der Auflosung von GaAs Untersiicht wird die Kinetik der Auflosung von (1 11)-und {loo}-Ebenen von GaAs in NaClO-und HN0,-Losungen sowie im HF/CrO,-Losungssystem. Dazu werden Auflosungsgeschwindigkeiten bestimmt mid mit Hilfe der Arrhenius-G