Materials Analysis by Ion Channeling. Submicron crystallography

✍ Scribed by Feldman L.C., Mayer J.W., Picraux S.T.

• Publisher: Academic Press
• Year: 1982
• Tongue: English
• Leaves: 305
• Category: Library

✦ Synopsis

Среди разнообразных методов исследования структуры поверхности в последние годы \nуспешно применяются методы, основанные на изучении характеристик рассеяния ионов. \nМонография L.Feldman, J. Mayer, T. Picraux , «Каналирование ионов в исследовании материалов» посвящена очень широкому кругу вопросов по исследованию структурных дефектов поверхности и объема монокристаллов. L. Feldman - широко известный специалист в области физики поверхности и является родоначальником использования явления каналирования ионов для изучения структуры поверхности и тонких поверхностных слоев. \nКнига состоит из 9 глав и обширной библиографии, содержащей более 800 наименований. В первых четырех главах рассмотрены физические основы применения каналирования ионов для изучения дефектов кристаллической структуры, рассмотрено взаимодействие ионных пучков с поверхностью кристаллов, физика явления каналирования, рассеяние ионов на дефектах. Однако наибольший интерес представляют последующие главы, в которых на разнообразных примерах рассмотрены возможности метода ионных пучков и их каналирования для изучения структуры поверхности, имплантированных и эпитаксиальных слоев, распределения дефектов в объеме кристаллов.

✦ Table of Contents

Титульный лист......Page 2
General References......Page 4
1. Interaction of Ion Beams with Surfaces......Page 23
2. Channeling within the Crystal......Page 48
3. Particle Distributions within the Сhаnnеl......Page 72
4. Dechanneling bу Defects......Page 99
5. Defect Depth Distributions......Page 128
6. Surfaces......Page 147
7. Surface Layers and Interfaces......Page 162
8. Epitaxial Layers......Page 182
9. Impurity - Defect Interactions......Page 204
Арреndix А. Atomic Scattering Concepts......Page 223
Appendix В. Lecture Notes оn Channeling and the Continuum Potential......Page 231
Bibliography......Page 244