M. Gentili, C. Giovannella and S. Selci
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P. SΓΌptitz
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Article
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1995
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John Wiley and Sons
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English
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Die Kiirzel im Titel werden viele ins Griibeln bringen, auch wenn sie -neben vielen anderenheute in der Halbleitertechnologie und in der Lithographie ublich geworden sind. Im vorliegenden Fall handelt es sich um verschiedene Moglichkeiten des Einschreibens bzw. Aufbelichtens beim lithographischen Pr